تحقیق سیستم های نانو الکترومکانیک (بدون منبع) (NEMS) سیستم های نانو الکترومکانیک (NEMS) 2 ۱- مقدمه: ۵ ۲– ویژگی های NEMS: 13 ۱-۲ NEMS به عنوان ابزارات الکترومکانیک چند قطبی. ۱۳ فرکانس.. ۱۵ ۳-۲ ضریب کیفیت (Q) 17 ۴-۲ مشخصه…