چکیده – با پیشرفت تکنولوژی امروزه نیازمند داشتن لوازم دقیق تر در صنعت و پزشکی و کشاورزی و سایر علوم این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این است NEMS و MEMS . هستیم تا بعد از آشنایی کلی با این تکنولوژی نو زمینه هاو کاربردهای آن , نحوه طراحی و اصول ساخت و گونه های تلفیقی آن با که جدید ترین شاخه ” CMOS ” MEMS سایر علوم مورد بررسی قرار گیرد.در پایان با نحوه طراحی مدارهای مجتمع
است آشنا می شویم.